ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА СОСТАВ, СТРУКТУРУ И ТРИБОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ Ti Al C N

1И.М. Климович, 1В.А. Зайков, 1,2Ф.Ф. Комаров, 1А.К. Кулешов

1Белорусский государственный университет, г. Минск, Беларусь
2Институт прикладных физических проблем им. Севченко, г. Минск, Беларусь

Исследовано влияние температуры подложки, потенциала смещения и добавки углеродсодержащего газа ацетилена на состав, структуру, коэффициент трения и износ наноструктурированных покрытий Ti Al C N, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Установлено, что подача потенциала смещения на подложку, нагрев подложки и увеличение парциального давления ацетилена приводит к увеличению среднего размера элементов структуры и влияет на ориентацию кристаллитов. Обнаружено, что наименьший коэффициент трения и износ соответствуют покрытию с наибольшим количеством углерода.
Ключевые слова: реактивное магнетронное распыление, растровая электронная микроскопия, рентгеноструктурный анализ, трение, износ

E-mail: : imklimovich@gmail.com

1. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий / А. Д. Погребняк [и др.] // Успехи физичесих наук. — 2009, T. 179, № 1. — C. 35–64.
2. Schintlmeister W. [et. al.] Structure and Strength Effects in CVD Titanium Carbide and Titanium Nitride Coatings / J. EIectrochem. Soc.: Solid-state science and technology, 1976, vol. 23, no. 6, pp. 924–929.
3. Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления / И.М. Климович [и др.] // Приборы и методы измерений. — 2015, Т.6, № 2. — C. 139–147.
4. Burmakov A. P., Kuleshov V. N. Spectroscopic system for controlling gas flow and impurity content during magnetron deposition of films / Journal of Applied Spectroscopy. 2007, vol. 74, no. 3, pp. 459−463.
5. Тот, Л. Карбиды и нитриды переходных металлов / Л. Тот. — Пер. с англ. ; под ред. П. В. Бельда. — М.: Мир, 1974. — C. 294.


Образец цитирования для русскоязычных изданий:
Влияние режимов реактивного магнетронного распыления на состав, структуру и трибомеханические свойства покрытий TiAlCN / И. М. Климович [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сб. научных трудов. В 3 кн. Кн. 1. Материаловедение / редкол.: А. В. Белый (гл. ред.) [и др.]. — Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. — С. 123–129.

Образец цитирования для международных изданий:
Klimovich I. M., Zaikov V. A., Komarov F. F., Kuleshov A. K. Vliyanie rezhimov reaktivnogo magnetronnogo raspyleniya na sostav, strukturu i tribomekhanicheskie svojstva pokrytij TiAlCN [Effect of reactive magne-tron sputtering parameters on TiAlCN coatings composition, structure and tribome-chanical properties] / Sovremennye metody i tekhnologii sozdaniya i obrabotki materialov [Advanced Methods and Technologies of Materials Development and Processing]. Collection of scientific papers, Minsk, FTI NAN Belarusi [PTI NAS Belarus], A.V. Byeli (ed.), 2017, vol. 1, pp. 123–129. (in Russian)  

СКАЧАТЬ СТАТЬЮ