СТРУКТУРНЫЕ И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ TIN, ПОЛУЧЕН-НЫХ МЕТОДАМИ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ОСАЖДЕНИЯ И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

А.Г. Артемчик, А.Н. Карпович, А.Г. Жижченко

Физико-технический институт НАН Беларуси, г. Минск, Беларусь

Исследованы структурно-фазовые превращения и механические свойства покрытий TiN, сформированных методами вакуумно-дугового осаждения и магнетронного распыления. Установлено, что минимальный коэффициент трения (0,35), максимальная микротвердость (24,7 ГПа) и наименьший период приработки характерны для покрытий, осажденных комбинацией данных методов.
Ключевые слова:: вакуумно-дуговое осаждение, магнетронное распыление, коэффициент трения, микротвердость, параметр решетки

E-mail: annakarpovich@bk.ru

1. He J.L., Sethuhara Y., Shimuzu I., Miyake S. Structure refinement and hardness en-hancement of titanium nitride films by addition of copper // Surf. And Coat. Techn., 2001, 137, p. 38142.
2. Ерофеев, Е. В. Исследование электрофизических параметров тонких пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления / Е. В. Ерофеев, И. В. Федин, А. И. Казимиров. — Вестник СибГУТИ 2015, № 3. — С. 29–34.
3. Вакуумно-плазменные защитные покрытия на дереворежущий инструмент / С. Д. Латушкина [и др.] Упрочняющие технологии и покрытия, Москва, 2014, №4. — С 23–28.
4. Жижченко, А. Г. Управление сепарированным плазменным потоком при вакуум-но-дуговом осаждении / А. Г. Жижченко, В. Ю. Гладкий, О. И. Терещук // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: Сборник трудов ХI Международной научно-техническая конференции, Минск, 14–16 сентября 2016 г. / Физико-технический институт НАН Беларуси; редкол.: С.А. Астапчик [и др.]. — 2016, Кн. 2. — С. 110–116.
5. Banerjee T. I., Chattopadhyay A. K. On improvement of tribological performance of pulsed DC CFUBM sputtered WS2 solid lubricant coating through addition of Ti or TiN / 5 th International & 26th All India Manufacturing Technology, Design and Research Conference (AIMTDR 2014) December 12th–14th, 2014, IIT Guwahati, Assam, India, pp. 554-1–554-6.
6. Жижченко, А. Г. Исследование особенностей структурообразования и напряженного состояния покрытий на основе TiN / А. Г. Жижченко // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: Сборник трудов ХI Международной научно-техническая конференции, Минск, 14–16 сентября 2016 г. / Физико-технический институт НАН Беларуси; редкол.: С.А. Астапчик [и др.]. — 2013, Кн. 2. — С. 191–198.
7. Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / В. В. Васильев [и др.]; Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт». Вопросы атомной науки и техники, 2009, №2, Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (93). — C. 173–180.


Образец цитирования для русскоязычных изданий:
Артемчик, А. Г. Структурные и механические свойства покрытий TiN, полученных методами вакуумно-дугового осаждения и магнетронного распыления / А. Г. Артемчик, А. Н. Карпович, А. Г. Жижченко // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сб. научных трудов. В 3 кн. Кн. 2. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки/ редкол.: А. В. Белый (гл. ред.) [и др.]. — Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. — С. 6–11.

Образец цитирования для международных изданий:
Artyomchik A. G., Karpovich A. N., Zhizhchenko A. G. Strukturnye i mekhanicheskie svojstva pokrytij TiN, poluchennyh metodami vakuumno-dugovogo osazhdeniya i magnetronnogo raspyleniya [Structural and mechanical properties of TiN coatings generated by vacuum arc deposition and magnetron sputtering techniques] / Sovremennye metody i tekhnologii sozdaniya i obrabotki materialov [Advanced Methods and Technologies of Materials Development and Processing]. Collection of scientific papers, Minsk, FTI NAN Belarusi [PTI NAS Bela-rus], A.V. Byeli (ed.), 2017, vol. 2, pp. 6–11. (in Russian)  

СКАЧАТЬ СТАТЬЮ