ИССЛЕДОВАНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПОКРЫТИЙ (TI, ZR)N ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫМИ МЕТОДАМИ

С.Д. Латушкина, И.М. Романов, А.Г. Жижченко, Я.Ю. Мартинкевич, Ю.В. Харлан

Физико-технический институт НАН Беларуси, г. Минск, Беларусь

Исследованы особенности фазо- и структурообразования, физико-механические свойства многокомпонентных покрытий (Ti, Zr)N, осажденных магнетронным и вакуумно-дуговым методами, в зависимости от технологических параметров процесса.
Ключевые слова:магнетронное распыление, вакуумно-дуговое осаждение, многокомпонентные покрытия

E-mail: phti@tut.by

1. Вакуумно-дуговые наноструктурные покрытия на основе нитрида титана / С. Д. Латушкина [и др.]; Перспективные материалы, 2014, № 6. — С. 49–55.
2. Munz W. D. Titanium aluminum nitride films: A new alternative to TiN coatings [Text]/ W.D. Munz /J. Vac. Technol. 1986,vol. A4, р. 2717–2725, Вidliogr.: р. 2725.
3. Береснев, В. М. Факторы, влияющие на формирование многокомпонентных покрытий на основе TiN / В. М. Береснев // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. 2005, № 4. — С. 76–78.
4. Titanium nitride coatings most productivity // Engineering, Jannary. 1983, pp. 43–45.
5. Андреев, А. А. Вакуумно-дуговые покрытия / А. А. Андреев, Л. П. Саблев, С. Н. Григорьев — Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. — 318 с.
6. Плазменно-вакуумные покрытия: Монография / Ж. А. Мрочек, А. К. Вершина, С. А. Иващенко и др. — Мн.: УП «Технопринт», 2004. — 369 с.
7. Кудинов, В. В. Плазменные покрытия / В. В. Кудинов. — М.: Наука, 1977. — 301 с.
8. Вассерман, И. М. Химическое осаждение из растворов / И. М. Вассерман. — Л.: Хи-мия, 1980 — 208 с.
9. Kelly P. J., Arnell R. D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications.// Vacuum, 2000, 56. pp. 159–172.
10. Структура и коррозионные характеристики вакуумных титановых покрытий. В. И. Аршавский [и др.]; Защита металлов. — Т. 22, №3. — 1986. — 428 с.


Образец цитирования для русскоязычных изданий:
Мартинкевич, Я. Ю. Исследование особенностей формирования многокомпонентных покрытий (Ti, Zr)N вакуумно-плазменными методами / Я. Ю. Мартинкевич [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сб. научных трудов. В 3 кн. Кн. 2. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки/ редкол.: А. В. Белый (гл. ред.) [и др.]. — Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. — С. 167–175.

Образец цитирования для международных изданий:
Latushkina S. D., Romanov I. M., Zhizhchenko A. G., Martinkevich J. Y., Harlan Y. V. Issledovanie osobennostej formirovaniya mnogokomponentnyh pokrytij (Ti, Zr)N vakuumno-plazmennymi metodami [Investigation of peculiarities of (Ti, Zr)N multicomponent coatings formation by vacuum plasma methods] / Sovremennye metody i tekhnologii sozdaniya i obrabotki materialov [Advanced Methods and Technologies of Materials Development and Processing]. Collection of scientific papers, Minsk, FTI NAN Belarusi [PTI NAS Belarus], A.V. Byeli (ed.), 2017, vol. 2, pp. 167–175. (in Russian)  

СКАЧАТЬ СТАТЬЮ