ФТОРСОДЕРЖАЩИЕ УГЛЕРОДНЫЕ ПОКРЫТИЯ

Н.М. Чекан, И.П. Акула

Физико-технический институт НАН Беларуси, г. Минск, Беларусь

Гибридным методом физического и химического осаждения из газовой газы получены фторсодержащие углеродные алмазоподобные покрытия a-C : F с содержанием фтора до 20 ат. %. Определены типы химических связей a-C : F-покрытий. Установлено влияние фтора на твердость и трибологические свойства покрытий.
Ключевые слова: алмазоподобный углерод, фтор, трибология
E-mail: pec@bas-net.by

1. H. Naragino, K. Yoshinaga, A. Nakahara, S. Tanaka, K. Honda. Enhancement of electrical conductivity and electrochemical activity of hydrogenated amorphous carbon by in-corporating boron atoms / Journal of Physics — 2013 - Vol. 441 — P. 012042– 012048.
2. X. Li, P. Ke, A. Wang. Stress reduction of Cu-doped diamond-like carbon films from ab initio calculations / AIP Advances - 2015 — Vol. 5 — P. 011711–1-01711-9.
3. M. Dai, K. Zhou, S. Lin, H. Hou, X. Zhu, H. Li, Sh. Niu. A study on metal-doped diamond-like carbon film synthesized by ion source and sputtering technique / Plasma Process and Polymers — 2007 — Vol. 4, P. 215–219.
4. F. Cemin, C.D. Boeira, C.A. Figueroa. On the understanding of the silicon-containing adhesion interlayer in DLC deposited on steel / Tribology International — 2016 - Vol. 94 — P. 464–469.
5. N.M. Chekan, N.M. Beliauski, V.V. Akulich, V.A. Kulchitsky. Biological activity of sil-ver-doped DLC films / Diamond and Related Materials — 2009 — Vol. 18 — P. 1006–1009.
6. K. Oda. Review of Diamond Like Carbon (DLC) Film and Its Applications / J. Jpn. Soc. Powder Metallurgy -2004 -Vol. 51 — P. 603–610.
7. G.Q. Yu,, B.K. Tay, Z. Sun, L.K. Pan Properties of fluorinated amorphous diamond like carbon films by PECVD / Applied Surface Science — 2003 — Vol. 219 — P. 228–237.
8. N. Chekan. Diamond-like Carbon Films. Edited by Yuto S. Tanaka. Nova Science Pub Inc, New York, 2012, Р. 207.
9. F. Fanelli, F. Fracassi, R. d’Agostino Deposition and etching of fluorocarbon thin films in atmospheric pressure DBDs fed with Ar–CF4–H2 and Ar–CF4–O2 mixtures / Surface and Coatings Technology — 2010 — Vol. 204 — P. 1779–1784.
10. J.L. He, W.Z. Li, L.D. Wang, J. Wang, H.D. Li. Deposition of PTFE thin films by ion beam sputtering and a study of the ion bombardment effect / Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. — 1998 — Vol. B 135 - P. 512–516.
11. A.C. Ferrari, J. Robertson. Interpretation of Raman spectra of disordered and amorphous carbon / Phys. review B. — 2000. — Vol. 61. - № 20. — P. 14095–14107.
12. J. Robertson. Diamond-like amorphous carbon / Mat. Sci. En. — 2002 — Vol. 37 - P. 129–281.
13. G.Q. Yu, S.H. Lee, J.J. Lee. Effects of thermal annealing on amorphous carbon nitride films by r.f. PECVD / Diamond and Related Materials – 2002 – Vol. 11 – P. 1633–1637.
14. N. Mutsukura. Photoluminescence and infra-red absorption of annealed a-CNx : H films / Diamond and Related Materials – 2001 – Vol. 10 – P. 1152–1155.
15. G.Q. Yu, S.H. Lee, D.G. Lee, H.D. Na, H.S. Park, J.J. Lee, Synthesis and characterization of carbon nitride thin films prepared by rf plasma enhanced chemical vapor deposition / Surface and Coating Technology- 2002 – Vol. 154 – P. 68–74.
16. S. Schmidt, C. Goyenola, G. K. Gueorguiev, J. Jensen, G. Greczynski, I. G. Ivanov, Zs. Czigány and L. Hultman. The reactive high power impulse magnetron sputtering process for the synthesis of CFx thin films using CF4 and C4F8 / Thin Solid Films – 2013 – Vol. 542 – P. 21–30.


Образец цитирования для русскоязычных изданий:
Чекан, Н. М. Фторсодержащие углеродные покрытия / Н. М. Чекан, И. П. Акула // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сб. научных трудов. В 3 кн. Кн. 2. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки/ редкол.: А. В. Белый (гл. ред.) [и др.]. — Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. — С. 323–331.

Образец цитирования для международных изданий:
Chekan N. M., Akula I. P. Ftorsoderzhashchie uglerodnye pokrytiya [Fluorenated carbon coatings] / Sovremennye metody i tekhnologii sozdaniya i obrabotki materialov [Advanced Methods and Technologies of Materials Development and Processing]. Collection of scientific papers, Minsk, FTI NAN Belarusi [PTI NAS Belarus], A.V. Byeli (ed.), 2017, vol. 2, pp. 323–331. (in Russian)  

СКАЧАТЬ СТАТЬЮ