ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ПОЛЕЙ В СИ-СТЕМЕ ПОКРЫТИЕ – ПОЛИМЕРНАЯ ПОДЛОЖКА ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ

С.К. Ших В.С. Сипач

Физико-технический институт НАН Беларуси, г. Минск, Беларусь

Проведено изучение температурных полей системы покрытие — подложка в процессе магнетронного распыления для несбалансированной магнетронной распылительной системы мощностью 3 кВт. размеры мишени 300х160 мм. Рассматривался случай, когда во время осаждения покрытий подложка совершает вращательное либо планетарное движение в технологической камере.
Ключевые слова: Магнетронное распыление, температурные поля, полимерная подложка
E-mail: vmo@tut.by

1. Yeom G. Y., Thornton J. A., Penfold A. S. Magnetic field designs for cylindrical-post magnetron discharge sources / J.Vac.Sci.Technol., vol. 6, no. 6, 1988, pp. 3156–3158.
2. Лыков, А. В. Теория теплопроводности / А. В. Лыков. — М.: Высшая школа, 1967, 600 с.


Образец цитирования для русскоязычных изданий:
Ших, С. К. Экспериментальное определение температурных полей в системе покрытие – полимерная подложка при магнетронном распылении / С. К. Ших, В. С. Сипач // Современные методы и технологии создания и обработки материа-лов : сб. научных трудов. В 3 кн. Кн. 2. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки/ редкол.: А. В. Белый (гл. ред.) [и др.]. — Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. — С. 341–345.

Образец цитирования для международных изданий:
Shikh S. K., Sipach V. S. Ehksperimental'noe opredelenie temperaturnyh polej v sisteme pokrytie – polimernaya podlozhka pri magnetronnom raspylenii [Experimental determination of temperature fields in the system the coating polymer substrate during magnetron sputtering] / Sovremennye metody i tekhnologii sozdaniya i obrabotki materialov [Advanced Methods and Technologies of Materials Development and Processing]. Collection of scientific papers, Minsk, FTI NAN Belarusi [PTI NAS Belarus], A.V. Byeli (ed.), 2017, vol. 2, pp. 341–345. (in Russian)  

СКАЧАТЬ СТАТЬЮ