КОМПЛЕКСНАЯ УСТАНОВКА ЭЛЕКТРОННО-ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ИН-ЖИНИРИНГА ПОВЕРХНОСТИ

В.В. Шугуров, Н.Н. Коваль, В.Н. Девятков

Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск, Россия

В работе представлены результаты разработки и создания комплексной установки электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности. Установка включает в себя источники объёмной газовой и металлической плазмы, а также источник электронного пучка. Приведены состав, принцип работы и устройство составных частей установки.
Ключевые слова: ионно-плазменная обработка, инжиниринг поверхности, электронный пучок, плазмен-но-ассистированное дуговое напыление
E-mail: shugurov@opee.hcei.tsc.ru

1. Nazarov D.S., Ozur G.E., and Proskurovsky D.I. Production of low-energy, high-current
2. Krokhmal A., Gleizer J.Z., Krasik Ya.E. and Felsteiner J. Electron beam generation in a diode with a gaseous plasma electron source I: Plasma source based on a hollow anode ignited by a multi-arc system // Journal of Applied Physics. — 2003. —Vol. 94, №1. — Р. 44–54.
3. Девятков, B. Н. Получение сильноточных низкоэнергетичных электронных пучков в системах с плазменным эмиттером / B. Н. Девятков, Н. Н. Коваль, П. М. Щанин // Изв. ВУЗов. Физика. — 2001. — № 9. — С. 36–43.
4. Grigoriev S.V., Koval N.N., Devjatkov V.N., Teresov A.D. The Automated Installation for Surface Modification of Metal and Ceramic-Metal Materials and Products by Intensive Pulse Sub-Millisecond Electron Beam // Proc. 9th Intern. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. — Tomsk. — 2008. — P. 19–22.
5. Иванов, Ю. Ф. Низкоэнергетические электронные пучки субмиллисекундной длительности: получение и некоторые аспекты применения в области материаловедения / Ю. Ф. Иванов, Н. Н. Коваль. — Гл. 13 в книге «Структура и свойства перспективных металлических материалов». — С. 345–382 / Под общ. ред. А.И. Потекаева. — Томск: Изд-во НТЛ, 2007. — 580 с.
6. Remnev G.E., Isakov I.F., Opekunov M.S. и др. High intensity pulsed ion beam sources and their industrial applications // Surface and Coatings Technology. — 1999. — V. 114. — Р. 206–212.
7. Тюрин, Ю.Н. Плазменные упрочняющие технологии / Ю.Н. Тюрин, М.Л. Жадке-вич. — Киев: Наукова думка, 2008. — 216 с.
8. Модификация материалов компрессионными плазменными потоками / В. В. Углов [и др.]. —Минск: БГУ, 2013. — 248 с.
9. Разработка комплексной технологии электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности материалов и изделий / Коваль Н.Н. [и др.]; // Наноинженерия. — 2015. - №4(46). — С. 4–13.
10. Изменение структуры поверхностных слоев технического титана в процессе обработки низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками / А. В. Панин [и др.]. — Физика металлов и металловедение, 2016, том 117, № 6, с. 571–582.
11. Структура, фазовый состав и свойства поверхности титана, модифицированного ионно-плазменными методами / Н. Н. Коваль [и др.]; // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2016, № 10, с. 104–107.
12. Увеличение усталостной долговечности эвтектического силумина электронно-пучковой обработкой / Иванов Ю.Ф. [и др.]. —Известия ВУЗов. Цветная металлургия. — 2016. — «3. — С. 72–76.
13. Ivanov Yu. F., Laskovnev A. P., Teresov A. D., Uglov V. V., Petrikova E. A., Shymanski V. I., Cherenda N. N. Modification of technically pure titanium with nitrogen in a low pressure arc discharge plasma assisted by plasma generator «PINK» // Известия высших учебных заведений. Физика. — 2016. — Т.59, № 9/2. — С. 189–192.
14. Regularities of formation of SUS321 steel surface layer under irradiation by intense electron beam / Ю.Ф. Иванов [и др.]. —Известия высших учебных заведений. Физика. — 2016. — Т.59, № 9/2. — С. 223–226.
15. Yulia Denisova, Vladimir Shugurov, Elizaveta Petrikova, Malika Seksenalina, Olga Ivanova, Irina Ikonnikova, Tatyana Kunitsyna, Victor Vlasov, Anatoliy Klopotov, and Yuriy Ivanov. Electrospark Doping of Steel with Tungsten // AIP Conf. Proc. 1698, 030010-1–030010-7; doi: 10.1063/1.4937832.
16. Yu. F. Ivanov, S. Yu. Filimonov, Yu. A. Denisova, E. A. Petrikova, O. V. Ivanova, A. D. Teresov, V. V. Shugurov, N. N. Koval. Electron–ion-plasma methods of alloying steel by copper // High Temperature Material Processes 19(3–4), 319–334 (2015).
17. Генерация низкотемпературной газоразрядной плазмы в больших вакуумных объемах для плазмохимических процессов/ Н. Н. Коваль [и др.]. —Российский хими-ческий журнал (Ж. Рос. хим. об-ва им. Д.И. Менделеева), — 2013, т. LVII, — № 3–4, С. 121–133.
18. Plasma-cathode electron source based on a low-pressure arc discharge in the mode of the emission current enhancement T. V. Koval, V. N. Devyatkov, B. H. Nguyen, & V. V. Uglov // High Temperature Material Processes 19(1), 19–27 (2015)
19. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия / А. А. Андреев [и др.]. —Харьков; ННЦ ХФТИ, 2005. – 236 с.


Образец цитирования для русскоязычных изданий:
Шугуров, В. В. Комплексная установка электронно-ионно-плазменного инжини-ринга поверхности / В. В. Шугуров, Н. Н. Коваль, В. Н. Девятков // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сб. научных трудов. В 3 кн. Кн. 2. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки/ редкол.: А. В. Белый (гл. ред.) [и др.]. — Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. — С. 346–356.

Образец цитирования для международных изданий:
Shugurov V. V., Koval N. N., Devjatkov V. N. Kompleksnaya ustanovka ehlektron-no-ionno-plazmennogo inzhiniringa poverhnosti [Complex setup of electron-ion-plasma surface engineering] / Sovremennye metody i tekhnologii sozdaniya i obrabotki materialov [Advanced Methods and Technologies of Materials Development and Processing]. Collection of scientific papers, Minsk, FTI NAN Belarusi [PTI NAS Belarus], A.V. Byeli (ed.), 2017, vol. 2, pp. 346–356. (in Russian)  

СКАЧАТЬ СТАТЬЮ