Истоки лаборатории физики плазменных процессов связаны с лабораторией тонкопленочного материаловедения, которая входила в состав созданного в 1990 г. Инженерного центра «Плазмотег», а с 2003 г. — Научного инженерного центра «Плазмотег» ФТИ НАН Беларуси. Возглавлял лабораторию Свиридович О.Г., с 2005 г. — член- корр. НАН Беларуси Точицкий Э.И., с 2007 г. — к.т.н. Белявский Н.М., с 2011 г. — к.ф.-м.н. И.П. Смягликов, с 2020 г. – к.т.н. А.А.Паршуто. С 2013 г. после упразднения HИЦ «Плазмотег» лаборатория входила в состав института в качестве самостоятельного научно-исследовательского подразделения. В 2014 г. вошла в состав Научно-исследовательского центра электронно-лучевых технологий и физики плазмы и была переименована в лабораторию физики плазменных процессов
НАПРАВЛЕНИЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ
ОСНОВНЫЕ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
Физикa и технология тонких пленок и покрытий
Теория, методы и устройства получения алмазоподобных, многокомпонентных и многослойных покрытий
Спектроскопическая и зондовая диагностика гетерогенных плазменных потоков
Создание новых тонкопленочных материалов для элементов и устройств технического и медико-биологического назначения
ОСНОВНЫЕ ПРИКЛАДНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
Разработка технологических основ получения новых материалов и покрытий на основе металлов и углерода вакуумными плазменными методами для повышения эксплуатационных характеристик деталей машин и механизмов, обрабатывающего инструмента, изделий медицинской техники
Разработка и модернизация оборудования для осаждения покрытий
Формирование радиопоглощающих и биозащитных покрытий на текстильных материалах
Физико-химические процессы электролитно-плазменной полировки и электрохимического оксидирования цветных и черных металлов